プラズマクリーナーの種類と特徴

プラズマクリーナーは、ひどく汚染された試料やコンポーネントの表面をクリーニングして再生利用するために使用します。種類は豊富で小型のものから大型のものまで、用途に合わせて使い分けることが可能です。表面改質に適したバッチ式のプラズマクリーナーは、プラズマモードから処理モードを選択できるので、基板の種類に応じた処理を行うことができます。小型の部品からFPD用角形基板までさまざまな形状に対応しているプラズマクリーナーは、三種類の処理モードを選択できるだけではなく、反応室内に電極棚を複数段装備することが可能です。

多目的簡易操作型のSEM用RFプラズマクリーナーは、小型で低価格を実現しています。また、低エネルギープラズマで試料の損傷を回避することに優れているのが特徴です。研究開発向けに設計されているプラズマクリーナーは、光学材料のクリーニングやポリマー、生体材料などの材料改質ができます。歯科や医学器具の滅菌やマイクロ流体工学にも対応していますので、あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されています。

大気圧プラズマ処理装置は、表面改質に最も適しておりガスが不要で洗浄が可能です。圧搾空気をガス源とするアーク放電方式のプラズマ洗浄装置ですから、ランニングコストを大幅に改善することができます。プラズマ発生部は、特殊な設計によりロボット等の装置への組み込みが容易で凹凸のある処理対象物に対していも固定したままで処理することが可能です。

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