プラズマクリーナーを徹底解説

プラズマクリーナーとは、原子と原子を衝突させることで発生するプラズマを使い、洗浄したい基盤などを徹底的に洗浄する機械のことです。様々な種類があり、小型で低コストなクリーナーや大型なものの洗浄力がとても高いクリーナーまでたくさんの種類があります。プラズマクリーナーには大気圧プラズマを使う洗浄装置と低気圧プラズマを使う洗浄装置があり、それぞれ大気圧プラズマを使うクリーナーはガスが不要で真空状態で使えることが大きな特徴です。対して、低気圧プラズマを使うクリーナーは小型なのにも関わらず、大型の大気圧プラズマと洗浄力がそこまで変わらないのが特徴です。

しかしガスは必要となります。数あるプラズマクリーナーの中で、有名な還元性プラズマクリーナーという装置があります。これは主に水蒸気を用いたプラズマ処理装置のことで、金属酸化膜の還元やフォトレジストあっ寝具などの表面を安全で安心に効率よく洗浄することが出来るクリーナーです。またほかにも、バッチ式プラズマクリーナーというクリーナーもあります。

これは平行平板型のプラズマ処理装置で多様な場面で活用することが出来る上に、使えるモードが多いことが大きな特徴です。中には、SEM試料をプラズマでクリーニング出来る、SEM用の洗浄装置も存在します。このクリーナーは特にハイコストパフォーマンスなのが大きな魅力で、プラズマ照射によるコンタミネーションを回避することが出来ます。

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