プラズマクリーナーの仕組とできること

プラズマクリーナーには色々な仕様のものがあって、例えばガスプラズマのエッチング効果で低圧の環境を作り出して、対象物をクリーニングするものがあります。目的に合わせて、ガスを選んでください。最適なガスを選べば有機質だけでなく無機質の汚れも取り除けます。HIC基板またリードフレームのボンディングを、プラズマクリーナーで洗浄することも可能です。

ボンディングの強度を上げたり、親水化つまり表面改質したり、様々なことができます。有機物であるレジストのエッチングや表面張力のコントロールもこの機器で可能なことです。プラズマクリーナーの仕組としては、例えば平行平板という方式のチャンバーで、対象物の表面に対してムラなくプラズマを照射することができます。プラズマクリーナーのモードについても説明しましょう。

エレクトロンフリープラズマやアクティブプラズマなど、強度が異なるモードが5種類あります。目的に合った最適なモードを選んでください。この機器では、12種類のクリーニング条件をメモリーすることもできます。タッチパネル操作によって簡単にレシピ設定することができるでしょう。

任意で3種のガスを選び、マスフローコントローラでガスを混合したり、流量コントロールしたりすることも可能です。プラズマクリーナーのチャンバーには専用トレイをセットスリットがあります。穴が開けられたトレイが12枚付属していて、電極またワーク保持台として働きます。プラズマクリーナーのことならこちら

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