プラズマクリーナーはプラズマを利用したクリーナー

プラズマとは荷電粒子群と電磁場が相互作用する複合系のことをいいます。粒子の運動は電磁場を変化させ、電磁場の変化は粒子の運動にフィードバックされます。プラズマは固体、液体、気体のいずれとも異なる特有の性質を持つため、第4の物質といわれる状態です。狭義のプラズマとは、気体を構成する分子が電離し、陽イオンと電子に分かれて運動している状態であり、電離した気体に相当します。

プラズマクリーナーとは、このプラズマの特徴を利用したクリーナーのことです。種類は色々あり、価格も製品によって1、000、000~5、000、000円と幅があります。例えば卓上型でコンパクト設計のプラズマクリーナーでは、自動運転やタッチパネルによる手動運転が可能だったり、プロセスパラメーターを保存できます。用途としては光学部品・金型などの精密洗浄や、有機フィルムなどの表面改質などがあります。

ガスプラズマのエッチング効果を利用してクリーニングをする製品では、用途に合わせてガスを選択することで、有機質はもちろん無機質汚染も確実に除去できます。洗浄対象の表面にムラなくプラズマを照射し、対象に応じて5種類のプラズマモードを使い分けられることが特徴です。反応室内に電極棚を複数段装備できるタイプのプラズマクリーナーもあり、小型部品からFPD用角型基板に至るまで、様々な形状の基板の量産処理が可能です。処理モード(RIEモード、プラズマモード、ダウンストリームモード)も3種類あって選択できるため、それぞれの基板に応じた最適な処理が行えることが利点といえます。

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