プラズマクリーナーの効果

プラズマクリーナーは、電子部品などを搭載する基板の戦洗浄に利用されるクリーナーのことで、不純物を除去するとともにこれらの不純物が吸着しないようにするための表面の平滑化を行う際によく用いられます。従来はLSIを製造する際のウェハーなどに用いられるのが主流でしたが、近年では一般の電子回路基板にも用いられることが多くなっているのが特徴です、電子部品等の場合には、細かなほこりや少しの汚れ等がその動作に支障をきたしてしまうことが少なくありません。しかし、一般的な洗浄では汚れを洗い落とすのにも限界があり、また表面の傷などによってほこり等が吸着しやすくなってしまうほか、静電気などもこれらの不純物を吸着させる要因となります。そのため、プラズマクリーナーの強力な電磁波により表面を平滑化させることで、これらの汚れが吸着しにくくなり非常に安全な状態を維持することができるのがポイントです。

近年では様々な電子部品を製造するために必要な環境は非常に厳しい洗浄度が求められるものとなっており、通常の方法ではこの基準値を達成することができません。そのため、様々な場面でプラズマクリーナーが用いられるようになっており、その方式も利用状況に合わせて様々なものが開発されています。そのため、選ぶ際には用途に合わせた性能を持つものを選ぶことが必要となっており、またその操作方法も非常に複雑になっている点に注意をすることが必要です。

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