プラズマクリーナーの原理

表面処理に欠かせない加工と言えばプラズマクリーナーです。小型で高集積な基板などを洗浄するときには、他に有効な方法がありません。プラズマの発生によって表面の有機物を取り除くことができますが、その原理はどのようなものでしょうか。原理を知ることでプラズマクリーナーのメリットが見えてくるはずです。

プラズマクリーナーは、プラズマ以外は何も利用していません。そのため消耗品が少なく、残留物も発生しいないためメンテナンスが容易です。プラズマとは原子が不安定な状態になっていることで発生する現象です。原子は核と周りを回っている電子から成り立っています。

電子は核の引力によって離れないで回り続けていますが、強いエネルギーを与え続けると、耐えられなくなり離れていしまいます。本来あるべき電子がなくなり、安定していた状態から急に不安定ななった原子は、プラスの電荷を持つイオンとマイナスの電子に別れた状態になって存在します。これがプラズマ現象です。プラズマクリーナーはこのプラズマ現象を使って、表面の処理を行う装置です。

プラズマは安定した状態を求めて周りの有機物に働きかけます。有機物はプラズマからの影響によって分解されて引き剥がされます。引き剥がされた有機物は同じくプラズマ状態として存在して、他の有機物を取り除くことに使われるように変化します。このように持続的に発生するプラズマは、減少することなく、増長もせず一定の効果で利用可能です。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です