プラズマクリーナーが様々な物質を除去できる理由

プラズマクリーナーは対象となる物体に対してプラズマの効果によって電子を放出させ、表面の様々な物質を微細化する性質を持っています。そのため表面に存在するほこりなどを分解し除去するとともに、物質の表面の様々な凹凸を除去し平滑化することができることから、高い洗浄効果を示すものとなっているのが特徴です。プラズマクリーナーは従来はLSI等を製造するウェハーに利用されることが多くなっていました。LSIの製造においては表面を非常になめらかにすることが必要であり、微細なほこりであってもこれが存在していると製品の歩留まりが著しく低下してしまうことになります。

非常に繊細な作業が必要となるため、一般的な洗浄方法ではその要求に応えられる効果を得ることができず、プラズマの原理によって表面をなめらかにするとともに様々な不純物を除去することができることがわかったから非常に広く利用されるものとなりました。しかしこれまでプラズマクリーナーはその電圧の声優が非常に難しいため、洗浄効果にも不安定な部分が存在していたのが実態です。そのため場合によっては対象を破損してしまうことも多かったのですが、近年ではその制御能力が格段に高まり、状況に応じて適切な量の電子を放出することができるようになりました。これにより現在では電子回路の洗浄などにも広く用いられるようになっており、静電気に弱い物質でも効果的に洗浄を行えるようになっているのが特徴です。

そのためプラズマクリーナーは、現在では様々な用途に用いられています。

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