大気圧プラズマクリーナーの仕組みと特徴

精密な電子デバイスや高機能材料の製造現場では、製品の表面に付着した不純物を除去したり改質をする目的でプラズマクリーナーが用いられています。一般的に多く使用されているのは減圧下で処理を行うタイプで、専用の容器内で真空ポンプを使用して空気を抜いてからプラズマが照射されます。最近は大気圧プラズマクリーナーが開発されていて、減圧処理をすることなく処理をすることができます。大気圧プラズマクリーナーの仕組みですが、専用の反応容器や真空ポンプは不要でプラズマ発生装置のみの構成です。

プラズマ発生装置の部分は大気中の空気に高い電圧をかける構造になっており、ノズルの先端から生成されたプラズマガスが放射されます。ノズルから発生するプラズマをクリーニング処理をする対象物に照射すれば、表面に付着した有機物などの不純物が除去される仕組みです。大気圧プラズマクリーナーの大きな特徴は、装置の構成がシンプルで小型化ができることです。減圧用の容器や真空ポンプが不要なので広いスペースを必要とせず、減圧などの準備作業をすることなくすぐにクリーニングができます。

大気圧下でガスを発生させるので、従来の減圧下での処理と比較して高密度のプラズマガスを生成させることが可能です。ただし大気中ではプラズマが届く範囲が限られてしまうので、複雑な形状の物体の表面を処理する場合はノズルの位置や角度などを細かく変えながらガスを照射する必要があります。

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