プラズマクリーナーについて

プラズマクリーナーとは、ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体や電子デバイス製造工程のアッシング、エッチングをはじめ、レンズや医療処置具、チューブや粉体洗浄、表面改質による印刷やコーティング材の密着性の改善により生産性や品質を大幅に向上させることを目的とした装置で、表面のクリーニングや表面処理、表面改質をおこなうことが出来ます。従来の洗浄方法では完全に表面の洗浄を行うことが困難で薄い汚染層を残す場合がありますが、プラズマクリーナーは表面をガスプラズマ放電にさらすことで見える油膜、微細なさびや他の汚染物質を除去します。プラズマによって形成された荷電粒子を含むエネルギーが表面上の誘起汚染物質の結合を分解して、有機汚染物質と化学的に結合して二酸化炭素や水などの揮発性物質に分解反応させて除去します。一般的にプラズマクリーナーには、低圧プラズマと大気圧プラズマの2種類あります。

大気圧プラズマは、大気圧環境下でプラズマを発生させる装置で真空環境を必要とせず、圧プラズマよりもイオン密度が高いといった特徴があります。しかし、イオン密度が高いといった特徴がある反面、電極間の距離を短くする必要があり、ワークとの照射距離に制限が出てしまいプラズマを発生させるために希ガスや酸素などのガスが必要となります。一方、低圧プラズマは真空環境は必要となりますが、容器内の分子密度が低いため、ガスを導入しなくても、プラズマを発生させることができます。また、電極間の距離をある程度離しても、プラズマがワークに照射できるためにワーク形状に依存しない処理が可能であるメリットがあります。

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