プラズマクリーナーが活躍する用途

物体の表面を処理するプラズマクリーナーは、洗浄や改質といった役割や機能を持ち、製造加工分野において重要な役割を担っています。プラズマを発生させて機能することからプラズマクリーナーと呼ばれており、特に半導体の製造分野で活躍しているといえます。微細化する半導体にとって洗浄は重要性が高い工程の1つですが、洗浄1つで製造効率や歩留まり、そして信頼性を大きく左右します。プラズマクリーナーは後工程を中心に活用されていますが、前工程でも活躍するので、1つあれば非常に役立ちます。

様々なガスに対応していて選択の自由度がありますし、有機質や無機質な汚染物質も除去できますから、とても幅広く活用可能です。プラズマクリーナーの強みは基材に殆ど影響することなく、表面を綺麗に処理したり、不純物を取り除けることにあります。面で効率良く洗浄することもできますし、スポットで範囲を限定して洗浄するのも容易ですから、用途に合わせて使い分けられます。幅広タイプは薄いフィルムの処理に向いており、スポットタイプは溝などの洗浄に適しているので、製造で抱えている悩みの解消に大活躍します。

表面改質効果によって親水性を改善できますから、そういう用途においても活躍しますし、他の方法と比べてコストや効率面のメリットが上回るはずです。プラズマクリーナーは薄皮を剥くかのように、肉眼では捉えられないミクロンレベルの洗浄を実現しているので、替えのきかない技術でもあります。

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