プラズマ装置について

プラズマ装置とは、ドライ洗浄のプラズマ技術を用いて品質や生産性などを向上させる装置です。物質にエネルギーを与え続けると温度が上昇し固体から液体、液体から気体になります。気体になった状態にエネルギーを供給し続けると、気体の分子が離脱して原子に。原子は原子核とその周辺を回っている電子から成り立っており、さらに原子核はプラスの電荷をもつ陽子と電荷を持たない中性子からできています。

原子となった状態にエネルギーを与え続けると、原子核の周囲を回っている電子が離れプラスの電荷をもつイオンとマイナスの電荷を持つ電子に分かれます。この状態をプラズマといい物質の第4状態とも呼ばれ、この原理を用いた装置がプラズマ装置です。プラズマ技術を用いて医療処置具やコーティング材などの生産性や品質を向上させるプラズマ装置には、アルゴンプラズマ処理と酸素プラズマ処置があります。アルゴンプラズマ処理とは、大気圧10pa以下位まで減圧したチャンバーにアルゴン原子を導入する方法です。

アルゴン原子を導入すると20pa位で高周波電力を電極間に印可し、減圧チャンバー内のアルゴン原子は高周波電力によってアルゴンイオンと電子に電離。結果、イオンシースが発生し、無機物や有機物を弾き飛ばしてクリーニングします。酸素プラズマ処理とは、大気圧10pa以下位まで減圧したチャンバーに酸素原子を導入する方法です。酸素原子を導入すると80から130paで高周波電力を電極間に印可し、減圧チャンバー内の酸素分子は高周波電力によって電離されます。

結果、酸素原子がサンプル上の有機化合物との化学反応で二酸化炭素や水分子となり、真空ポンプによって排気されます。

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