プラズマ洗浄装置の特徴と仕組みとは

精密回路や医療機器の製造現場では、製品の表面に付着している不純物(汚れ)を除去する目的でプラズマ洗浄装置が使用されています。この装置の特徴は、水などの溶媒や洗剤を使用せずに製品の表面に付着した有機物を除去が可能であることです。プラズマ洗浄装置の仕組みですが、減圧装置とプラズマ発生源を組み合わせた構造になっています。減圧環境下でプラズマを発生させて対象物の表面に照射させると、プラズマ状態のガスが製品の表面に付着した有機物を酸化・蒸散させることで不純物が完全に除去されます。

ちなみにプラズマとは電離したガスのことで反応性が非常に高いという性質があり、有機物などを酸化・分解させることができます。プラズマ状態の電離ガスは酸化力が非常に強いですが、プラズマ発生源を停止させればすぐに消滅して酸化力が消えてしまいます。プラズマ発生源にはいくつかの方式があり、マイクロ波やグロー放電などを利用してガスに高エネルギーを照射して電離させます。プラズマ洗浄装置は減圧状態のドライ環境下で処理を行うため、洗浄液や洗剤は一切不要です。

溶剤を使用しないので、洗浄後に乾燥をしたり使用済みの洗浄液の処理を必要としないというメリットがあります。水や溶剤に触れると変質するような材料の表面でも洗浄作業をすることが可能なので、多くの分野で使用されています。低温状態でもプラズマを発生させることが可能なので、熱に弱い製品でも洗浄処理を行うことができます。

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