プラズマ装置はなぜ基板洗浄に効果的なのか

プラズマ装置は基板洗浄に利用されることが少なくありませんが、これには非常に適した理由があります。プラズマは高い電圧で様々な周辺のものを破壊する性質を持っており、雷のように通常では電気を通すことができない状態のものに電気を通すことで、その表面を破壊してしまう性質を持っています。これを電圧を制御しながら効果的に利用することで、これまで基板洗浄を行う際に問題となっていた様々な現象を全て解決することができることから、現在では非常に頻繁に利用されるものとなっているのが特徴です。プラズマ装置を基板洗浄に利用すると、表面に付着している様々なほこりや汚れなどを除去することができるほか、基板の表面を適度に破壊しその表面積を増やすことができます。

表面積を増やすことで様々な部品を接着剤で接着した場合にその面積が広がることになり、強固な接着を行うことが可能となります。プラズマ装置が利用される以前は、洗浄液を用いてワイヤーブラシなどで傷をつけながら表面の汚れを落とすと言うのが一般的な方法でした。しかしその力の入れ具合が均等にならないことが多い上、人間の手で作業を行うため洗浄をすることができない部分が生じたりすることもあったのですが、プラズマ装置を利用すると基板全体を均一に処理することができるようになるため、非常に効率よく作業を行うことができるのが特徴です。さらに短時間で作業を終えることができることから、現代では主流の方法となっています。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です